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真空断熱材用小型真空センサ

真空断熱材の性能チェックのための熱伝導方式の小型真空センサを開発しました。従来の真空センサや真空計と比べ大幅な小型化を実現、
組込み用途に最適です。
また、補償用センサを搭載しているため長期間正確な測定が可能です。


特長

・小型で微小空間の設置が可能 
・高速応答

寸法図

※本製品は開発品の為、外観・仕様は予告なく変更される場合があります。

定格

項目 内容
検出範囲 0.4Pa~1000Pa
駆動電流 0.3mA
安定時間 約5秒
検知・補償用センサ抵抗値 65kΩ±30%

検出用センサ特性(代表値)

補償用センサを使用した増幅回路ブロック図(参考)

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